据台湾中时新闻网3月23日报导，台积电、联电、南茂等半导体厂人士皆安全，仅少许感性机台当机。此中在南部科学园区部分，群创有2厂部分机台当机，但最终确认并没有作用。
据本地媒体报导，台积电显示，多数厂区全没有达到疏散准则，唯有零星疏散，地震后，很快回到制造线；联电显示，员工及厂房均安、部分机台发动庇护停机功效须要从新开机，全体第一季业绩不受作用。
23日凌晨，台湾台东县海域产生6.6级地震，今后尺寸余震不停。
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