原标题：飞天有咱：星辰大海守护你

——记天宫二号飞行任务声外表波器件的研制团队

新华社北京9月16日电（陈瑞、陈佳佳、王婷）六月刚送走“长征七号”火箭，现下，华夏航天科工团体二院23所下属北京航天微电科技局限企业（下简单称呼“微电企业”）又守护上了天宫二号。它们研制的声外表波滤波器，过滤掉沿路的大度层、邻近体积和太空中的杂散噪声信号，电磁环境再繁杂，全能实现自动消音，唯有天宫和神舟飞船的消息才会被传导给地面的“家里”。这种法宝，唯有指甲盖大。

百级制造超净环境，1立方米体积中含有的直径大于0.5微米的颗粒不超越3500个，通过除尘、除静电、风淋等多道程序才能映入制造线，制造者常年白衣白帽白口罩紧裹，制造产物的最细线条差不多于头发丝直径的1/200，操作须要在50、500甚而1500倍的高倍显微镜下发展。那神奇的滤音法宝，就来自一群显微镜前事业的人之手。源于常年事业在微纳加工的超净间, 与外界差不多隔离，即便是同在企业事业很久的其它部门同事，对它们的事业内容还不甚理解。

航天品质助力民族“飞天梦”

声外表波器件是火箭上分体系的焦点元器件，最重要的配套于信号料理体系，源于大度层、邻近体积和太空中的电磁环境繁杂，杂散噪声信号许多，声外表波滤波器的最重要的效用便是滤除噪声信号，确保载波信号传输流畅，不失真。

考量火箭发射和体积运转进程中近乎严苛的极冷极热、失重过重等极其环境，器件可靠性高、生命长，愈是不行放松的品质指标。

源于配套的产物膜厚不同，100nm之下的超薄膜层附致力差会引起器件损失增大，目标超差。作为前工序组长的老王对制造中存留的难题踊跃开动脑筋，采用不同的方法解决，攻克了潮湿天气膜层附致力的困难，经过来回几十次试验，在不同膜层构造的根基上改良了参数，确保了膜层附致力。

作为光刻工序的老师傅老孙负责光刻芯片的镜检事业，每天在显微镜下对着上千个芯片图形，而每个图形的线条宽度皆是微米级的，须要把每一种图形的缺陷明确而迅速的剔除。这是耗气力的眼力活，每天眼睛都和小白兔一样红。

粘片工序的小曹是后工序的组长，有着在玉米粒尺寸的管壳将小米粒尺寸的芯片组装上去的绝活，源于芯片又薄又脆，须要确保芯片无划伤和崩边，这一手微装配的绝活要徒弟们练个几年才能上手。

压焊工序的郁师傅，对高可靠产物的压焊有独到的手法，为了满足器件的目标，须要在不足0.2毫米的键合区将50微米的压焊丝垂直压焊，还要确保焊点的形变量，其手法难度如同在米粒上刻字。

而压焊工序的小刘，联合好几年的制造操作和对产物器件的认知，针对各式型号的产物器件设置并制作了新的工装夹具，使操作更方便可靠，提升了产物的绝对性可靠性。为了提升制造效能还发明了并制作了批量盖帽、批量摘帽、批量清洗等一系列的批量操作方法和夹具。

企业为应对大量量的器件定单，新引入了一辆国产全自动压焊设施，早期全自动压焊设施有自动定位难题，只能运用细硅铝丝导致可靠性差等难题。通过一段时间的探讨与改良，小刘设置了针对全自动机器定位难题的定位盖板，解决了连制造厂商全没有解决的产物定位难题和粗硅铝丝运用的压焊技艺，使此国产机器达到了进口机器的水准，大大提升了制造效能和可靠性。

张师傅在缝焊小大小器件时，将每一种盖板认真对位，其精度小于1丝，源于盖板唯有大米粒那末大，稍有偏差就会形成器件漏气，这是眼力和耐心的考验。

为了品质，为了可靠性，更为了航天这块“金字招牌”，团队不敢有丝毫放松。

技艺，为“飞天”而生

声外表波滤波器工艺队伍平均年龄不足30岁，事业时间第一长的也仅有10年。团队里的小鲜肉尽管年纪小，却学历高、有冲劲。

微纳光刻加工工艺是声外表波滤波器芯片加工工艺的焦点，也是实现器件功能的要害。在大小不到1平方mm的半透明衬底上，成百上千根线宽仅为头发丝直径1/40的纳米尺度的芯片电极稠密排布，肉眼基本没有办法看见。

光刻加工时，光线在半透明衬底上有各个方向的折射与反射，极大增添了加工难度。而在采纳新设置后，设置请求的芯片电极最细线宽超越了企业现存光刻机的分辨率上限。

小贺在光刻间摸索了几个月，休息时间查阅大批国家内部外文件，并踊跃与晶片制造厂商交流，终归想出了这种点子。他改良了整套光刻工艺方案，终归实现纳米尺度极细线条的精确制作，不仅解决了“长征七号”的要求，还把企业制造的声表滤波器的频次绝对性和明确性提高了20%以上。

解决一种“拦路虎”，又添一种“堵路石”。

火箭须要脱离地心引力须要至少7.9km/s2的提速度，而声表滤波器芯片的声学功能和材质节制打算了芯片不行采纳高强度固定形式，只能运用有机粘接胶固定。

为了实现器件的小型化，工艺团队缩短了外壳大小，连带减小了粘接地域余量，请求粘接工艺精度极高，胶量稍有偏差就会形成溢胶、胶量不足，激发一系列可靠性难题。

如何实现精准点胶、确保粘接胶的粘接强度及在恶劣环境的可靠性成为放在团队成员眼前的一道难关。

小孟经过构建芯片面积与所需胶量最好值的数学模子，编写软件自动生成点胶量与各胶点位子的工艺参数表，经过对比工艺参数表，使操作者在确保高度工艺绝对性、稳固性的前提下可精准达成芯片粘接操作。

这项为了“飞天”而生的点胶粘接技艺后来成功申请为一项国度专利。

为了咱们的航天梦

工艺团队负责人陈哥总自豪的说：“咱们是有责任感、战斗力强的队伍。”

名目研制攻关的时刻，倪姐的儿童病了，年青的母亲放下手中的事业匆忙赶去医院，照看了一天发觉病情稍有好转，她便将儿童委托给婆婆照顾，本人又返回单位接着事业，完毕一天的事业回到家中，儿童早已睡去。

小贺有一次回老家探亲，和邻座的乘客聊家常，5个多小时后车到站，临下车头对方问到：“小伙子你挺厉害啊，一路面上也没见你去趟厕所？”

“咱这也是平时事业须要，经常要在光刻间延续事业很长时间，源于出入净化间频繁更换净化服会导入灰尘颗粒作用车间干净度，是以喝水少，时间一长，都练出去了。”

“你还不瞧瞧这是谁做的产物”，每当谈论起攻克一种个技艺难点时，自豪感和成就感浮此刻每一种团队成员的脸上。

在器件的研制进程中，可靠性是一条红线，器件功能再好，无可靠性基本没有办法运用。

在某产物低温测试时，小徐发觉在经验高低温刹那的激烈浮动时，器件幅频曲线会发生仅仅不到3秒左右的振动，几秒钟后测试器件功能又规复寻常。

这幽灵通常闪现的难题让小徐绞尽脑汁，他将各式可能的要素以及故障形式概括归类，画出5页A4纸的故障剖析树。两个月的时间，他为了这3秒钟的幅频振动，对失效器件来回发展了上百次高低温试验，难题终归被明确定位在芯片资料上，并寻到相应的作用机理和解决举措。

一轮轮工艺试验、一次次技艺改良，为航空航天体系、国防武器配备配套着可靠的产物，为使用者提供着优质的效劳品，这便是在“航天长征”路面上的北京航天微电企业精益求精的声外表波滤波器工艺团队，为实现华夏梦、航天梦，正好不停努力着！

(原标题：记天宫二号飞行任务声外表波器件的研制团队)